Microfabricated Electrically Conducting and Wear-resistant Nanoprobes for Scanning Probe Applications (Series in Microsystems)
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Microfabricated Electrically Conducting and Wear-resistant Nanoprobes for Scanning Probe Applications (Series in Microsystems) (2008)
EN PB NW FEISBN: 9783866281868 bzw. 3866281862, in Englisch, 160 Seiten, Hartung-Gorre, Taschenbuch, neu, Erstausgabe.
Von Händler/Antiquariat, hartung_gorre_verlag.
Conventional metal-coated Si probes suffer from wear and melting at the tip extremity at high current densities. The sensitivity to melting and wear is a serious limitation, since the probes get disabled. This work addresses and resolves these problems. The approach used is to fabricate full metal cantilevers with integrated metal nanometrically sharp tip, using a probe material that has a high hardness, a high melting temperature, a good electrical conduction and a good resistance to oxidation. This book describes the design, microfabrication, characterisation including benchmarking against conventional Si probes, and demonstrates applications of the fabricated electrically conducting probes. Taschenbuch, Ausgabe: 1., Label: Hartung-Gorre, Hartung-Gorre, Produktgruppe: Book, Publiziert: 2008-03-01, Studio: Hartung-Gorre.
Daten vom 10.08.2018 08:08h
ISBN (andere Schreibweisen): 3-86628-186-2, 978-3-86628-186-8
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ISBN: 9783866281868
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