Untersuchungen zur Phasenbildung und Kristallisation auf der Konode SiC - Si3N4 unter Verwendung von Ionenimplantation und Magnetronsputtern
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Untersuchungen zur Phasenbildung und Kristallisation auf der Konode SiC - Si3N4 unter Verwendung von Ionenimplantation und Magnetronsputtern (2005)
DE PB NW FEISBN: 9783865376046 bzw. 3865376045, in Deutsch, 130 Seiten, Cuvillier, E, Taschenbuch, neu, Erstausgabe.
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Von Händler/Antiquariat, cuvillier.
Auf der Suche nach neuen keramischen Materialien mit hoher Härte und verbesserter thermischer Stabilität haben nichtoxidische Keramiken in den letzten Jahren zunehmend an Bedeutung gewonnen. Ternäre Phasen bestehend aus Silicium, Kohlenstoff und Stickstoff (Si-C-N-System) zeigen eine Vielzahl herausragender Eigenschaften: eine hohe Oxidationsbest ändigkeit und Rekristallisationstemperatur [1] ermöglicht eine Nutzung als Keramik-Strukturmaterial zum Hochtemperatureinsatz z.B. im Motoren- und Turbinenbau, die große Härte [2-8] ermöglicht den Einsatz für tribologische Zwecke, die gemessenen Bandabstände [2, 9], die optischen Eigenschaften [6, 10], die elektrische Leitfähigkeit [11, 12] und die Feldemissionscharakteristiken [13, 14] sind von technischer Relevanz für Anwendungen in der Elektronik- und der Halbleiterindustrie. Die Synthese von Siliciumcarbonitriden kann auf unterschiedliche Art erfolgen. Für die Herstellung von Festkörpern mit makroskopischen Abmessungen (Bulkmaterial) eignen sich pyrolytische Verfahren [1, 15-21]. Bei diesen Verfahren werden Siliciumorganische Polymere als Ausgangsverbindung (Precursor) durch eine Hochtemperaturbehandlung (Pyrolyse) in Siliciumcarbonitride überführt. Die Zusammensetzung des dabei entstehenden Si-C-N-Materials wird durch die Zusammensetzung und die Polymerstruktur der verwendeten Precursormaterials und in geringem Ausmaß auch durch die Pyrolyse- Prozedur bestimmt und lässt sich daher nur sehr eingeschränkt steuern. Broschiert, Ausgabe: 1, Label: Cuvillier, E, Cuvillier, E, Produktgruppe: Book, Publiziert: 2005-10-03, Studio: Cuvillier, E.
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Auf der Suche nach neuen keramischen Materialien mit hoher Härte und verbesserter thermischer Stabilität haben nichtoxidische Keramiken in den letzten Jahren zunehmend an Bedeutung gewonnen. Ternäre Phasen bestehend aus Silicium, Kohlenstoff und Stickstoff (Si-C-N-System) zeigen eine Vielzahl herausragender Eigenschaften: eine hohe Oxidationsbest ändigkeit und Rekristallisationstemperatur [1] ermöglicht eine Nutzung als Keramik-Strukturmaterial zum Hochtemperatureinsatz z.B. im Motoren- und Turbinenbau, die große Härte [2-8] ermöglicht den Einsatz für tribologische Zwecke, die gemessenen Bandabstände [2, 9], die optischen Eigenschaften [6, 10], die elektrische Leitfähigkeit [11, 12] und die Feldemissionscharakteristiken [13, 14] sind von technischer Relevanz für Anwendungen in der Elektronik- und der Halbleiterindustrie. Die Synthese von Siliciumcarbonitriden kann auf unterschiedliche Art erfolgen. Für die Herstellung von Festkörpern mit makroskopischen Abmessungen (Bulkmaterial) eignen sich pyrolytische Verfahren [1, 15-21]. Bei diesen Verfahren werden Siliciumorganische Polymere als Ausgangsverbindung (Precursor) durch eine Hochtemperaturbehandlung (Pyrolyse) in Siliciumcarbonitride überführt. Die Zusammensetzung des dabei entstehenden Si-C-N-Materials wird durch die Zusammensetzung und die Polymerstruktur der verwendeten Precursormaterials und in geringem Ausmaß auch durch die Pyrolyse- Prozedur bestimmt und lässt sich daher nur sehr eingeschränkt steuern. Broschiert, Ausgabe: 1, Label: Cuvillier, E, Cuvillier, E, Produktgruppe: Book, Publiziert: 2005-10-03, Studio: Cuvillier, E.
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