Versetzungsverhalten bei der Homoepitaxie von hexagonalem Siliziumkarbid (4H-SiC)
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Versetzungsverhalten bei der Homoepitaxie von hexagonalem Siliziumkarbid (4H-SiC)
~DE NW
ISBN: 9783839603420 bzw. 3839603420, vermutlich in Deutsch, neu.
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In dieser Dissertation wird das homoepitaktische Wachstum von 4H-Siliziumkarbidschichten auf unterschiedlich verkippten Substraten untersucht. Weitere Schwerpunkte liegen auf dem Verhalten der Versetzungen, speziell der Basalflächenversetzungen, bei der Epitaxie sowie auf der dotierungsinduzierten Fehlpassung zwischen Substrat und Schicht. Darüber hinaus wird das Charakterisierungsverfahren des defektselektiven Ätzens in einer Vergleichsstudie mittels Synchrotron-Röntgentopographie verifiziert.
In dieser Dissertation wird das homoepitaktische Wachstum von 4H-Siliziumkarbidschichten auf unterschiedlich verkippten Substraten untersucht. Weitere Schwerpunkte liegen auf dem Verhalten der Versetzungen, speziell der Basalflächenversetzungen, bei der Epitaxie sowie auf der dotierungsinduzierten Fehlpassung zwischen Substrat und Schicht. Darüber hinaus wird das Charakterisierungsverfahren des defektselektiven Ätzens in einer Vergleichsstudie mittels Synchrotron-Röntgentopographie verifiziert.
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Versetzungsverhalten bei der Homoepitaxie von hexagonalem Siliziumkarbid (4H-SiC) (2011)
DE US
ISBN: 9783839603420 bzw. 3839603420, in Deutsch, Fraunhofer Irb Stuttgart, gebraucht.
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Versetzungsverhalten bei der Homoepitaxie von hexagonalem Siliziumkarbid (4H-SiC) (2011)
DE NW
ISBN: 9783839603420 bzw. 3839603420, in Deutsch, 206 Seiten, Fraunhofer Irb Stuttgart, neu.
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Versetzungsverhalten bei der Homoepitaxie von hexagonalem Siliziumkarbid (4H-SiC) (2011)
DE NW
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Versetzungsverhalten bei der Homoepitaxie von hexagonalem Siliziumkarbid (4H-SiC) (2011)
DE NW
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