Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
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Mikrosystemtechnik (2006)
DE PB NWISBN: 9783835100039 bzw. 3835100033, in Deutsch, Teubner B.G. GmbH, Taschenbuch, neu.
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Prozessschritte, Technologien, Anwendungen, Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet. Taschenbuch, 25.04.2006.
Prozessschritte, Technologien, Anwendungen, Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet. Taschenbuch, 25.04.2006.
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Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
~DE NWISBN: 9783835100039 bzw. 3835100033, vermutlich in Deutsch, neu.
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Mikrosystemtechnik
DE NWISBN: 9783835100039 bzw. 3835100033, in Deutsch, neu.
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Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen (German Edition) (2006)
DE PB NWISBN: 9783835100039 bzw. 3835100033, in Deutsch, 288 Seiten, 2006. Ausgabe, Vieweg+Teubner Verlag, Taschenbuch, neu.
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Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen (German Edition) (2006)
DE PB NWISBN: 9783835100039 bzw. 3835100033, in Deutsch, 288 Seiten, 2006. Ausgabe, Vieweg+Teubner Verlag, Taschenbuch, neu.
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Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen (German Edition) (2006)
DE PB NWISBN: 9783835100039 bzw. 3835100033, in Deutsch, 288 Seiten, 2006. Ausgabe, Vieweg+Teubner Verlag, Taschenbuch, neu.
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