Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns (Dresdner Beiträge zur Sensorik)
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Der vorliegende Band der "Dresdener Beiträge zur Sensorik" untersucht das reaktive Magnetron-Sputtern zur Abscheidung piezoelektrischer Dünnschichten auf der Basis von Aluminiumnitrid (AlN). Solche piezoelektrischen Dünnschichten lassen sich vorteilhaft für Sensoren und Aktoren verwenden. Der Abscheideprozess ermöglicht die homogene Herstellung auf einer großen Fläche von bis zu 200 mm Durchmesser bei gleichzeitig hoher Abscheiderate und Homogenität. Die Kenntnis der Haupteinflussgrößen des Prozesses auf die Schichteigenschaften ermöglicht die wirtschaftliche Abscheidung von AlN-Schichten mit Dicken von bis zu mehreren 10 Mikrometern. Durch die Dotierung der Schichten mit Scandium lassen sich die piezoelektrischen Eigenschaften weiter verbessern, so dass sich völlig neue Anwendungsgebiete eröffnen.2015. 124 S. 2 Farbabb. 225 mmVersandfertig in 3-5 Tagen, Softcover.

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This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware - Der vorliegende Band der 'Dresdener Beiträge zur Sensorik' untersucht das reaktive Magnetron-Sputtern zur Abscheidung piezoelektrischer Dünnschichten auf der Basis von Aluminiumnitrid (AlN). Solche piezoelektrischen Dünnschichten lassen sich vorteilhaft für Sensoren und Aktoren verwenden. Der Abscheideprozess ermöglicht die homogene Herstellung auf einer großen Fläche von bis zu 200 mm Durchmesser bei gleichzeitig hoher Abscheiderate und Homogenität. Die Kenntnis der Haupteinflussgrößen des Prozesses auf die Schichteigenschaften ermöglicht die wirtschaftliche Abscheidung von AlN-Schichten mit Dicken von bis zu mehreren 10 Mikrometern. Durch die Dotierung der Schichten mit Scandium lassen sich die piezoelektrischen Eigenschaften weiter verbessern, so dass sich völlig neue Anwendungsgebiete eröffnen. 124 pp. Deutsch.

Der vorliegende Band der Dresdener Beiträge zur Sensorik untersucht das reaktive Magnetron-Sputtern zur Abscheidung piezoelektrischer Dünnschichten auf der Basis von Aluminiumnitrid (AlN). Solche piezoelektrischen Dünnschichten lassen sich vorteilhaft für Sensoren und Aktoren verwenden. Der Abscheideprozess ermöglicht die homogene Herstellung auf einer großen Fläche von bis zu 200 mm Durchmesser bei gleichzeitig hoher Abscheiderate und Homogenität. Die Kenntnis der Haupteinflussgrößen des Prozesses auf die Schichteigenschaften ermöglicht die wirtschaftliche Abscheidung von AlN-Schichten mit Dicken von bis zu mehreren 10 Mikrometern. Durch die Dotierung der Schichten mit Scandium lassen sich die piezoelektrischen Eigenschaften weiter verbessern, so dass sich völlig neue Anwendungsgebiete eröffnen.

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Der vorliegende Band der "Dresdener Beiträge zur Sensorik" untersucht das reaktive Magnetron-Sputtern zur Abscheidung piezoelektrischer Dünnschichten auf der Basis von Aluminiumnitrid (AlN). Solche piezoelektrischen Dünnschichten lassen sich vorteilhaft für Sensoren und Aktoren verwenden. Der Abscheideprozess ermöglicht die homogene Herstellung auf einer großen Fläche von bis zu 200 mm Durchmesser bei gleichzeitig hoher Abscheiderate und Homogenität. Die Kenntnis der Haupteinflussgrößen des Prozesses auf die Schichteigenschaften ermöglicht die wirtschaftliche Abscheidung von AlN-Schichten mit Dicken von bis zu mehreren 10 Mikrometern. Durch die Dotierung der Schichten mit Scandium lassen sich die piezoelektrischen Eigenschaften weiter verbessern, so dass sich völlig neue Anwendungsgebiete eröffnen.

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Erscheinungsdatum: 02.07.2015, Medium: Taschenbuch, Einband: Kartoniert / Broschiert, Titel: Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns, Autor: Barth, Stephan, Verlag: TUDpress Verlag der Wissenschaften GmbH // TUDpress, Sprache: Deutsch, Rubrik: Elektronik // Elektrotechnik, Nachrichtentechnik, Seiten: 124, Informationen: Paperback, Gewicht: 218 gr, Verkäufer: averdo.

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TUDpress, Taschenbuch, Ausgabe: 1, Publiziert: 2015-07-01T00:00:01Z, Produktgruppe: Book, Verkaufsrang: 400814.