Kinetik der Titandiboridabscheidung mittels CVD aus Titantetra- und Bortrichlorid, insbesondere der retardierende Einfluß von HCl
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Symbolbild
Kinetik der Titandiboridabscheidung mittels CVD aus Titantetra- und Bortrichlorid, insbesondere der retardierende Einfluß von HCl (2000)
DE PB NWISBN: 9783826583056 bzw. 3826583051, in Deutsch, 86 Seiten, Shaker Verlag GmbH, Taschenbuch, neu.
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